磁控溅射镀膜综述性论文

问：求磁控溅射和多弧离子镀膜的资料和文摘

1. 答：1.磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子，使得一镀膜区域的离子密度很低，一定程度上削弱了等离子体膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量。使得磁控溅射靶的磁场不平衡，可以大大提高镀区域的等离子体密度，从而改善镀膜质量，此外还讨论该技术目前的发展状况。
   2.多弧离子镀膜 请查看

问：磁控溅射镀膜设备简介与优点有哪些？

1. 答：磁控溅射原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出...

问：磁控溅射膜

1. 答：南玻的？幸会。。。
   膜面放电属于常见问题，其原因是等离子体导电现象严重，放点区域较大。
   根据磁控溅射镀膜情况可以分为：
   1.基体距离靶材较近，（此类情况基本可以排除，一般来说距离超过15厘米就没有多大问题）
   2.放点区域距离靶材较远，表现为磁场强度较小，电压偏高。在此类情况下如果提高溅射气压可以解决。
   3.靶、真空室、基体不洁净，具有尖端放电存在。
   4.反应气体较多，溅射气体较少，表现为电压偏低。
   说得可能太笼统，你看是否有帮助，如果不行的话，把实际情况表述下再结合实际情况分析。
2. 答：当然了
   目前世界上膜业
   最先进的技术就是磁控溅射
   圣科(SUNTek)
   贝卡尔特在中国的大部分都是这种膜,所以说这种膜的价格也是比较高的了.
   为什么说这种膜的工艺最高呢?因为他是有金属磁控溅射的,永久不会腿色,并且隔热非常好,告诉大家啊,目前世界最高隔热是79%最高的.
   有人说龙膜也有磁控溅射膜,不错.但是在中国很少,大部分都是深层染色膜.他的磁控溅射膜很贵.比圣科(SUNTek)的贵的很多.

问：直流磁控溅射镀膜有哪些特点有利于哪些薄膜材料的

1. 答：一般磁控溅射方法制备绝缘材料的薄膜有两种方法：pvd（物理气象沉积）、cvd（化学气象沉积）。
   物理气象沉积，用陶瓷靶（绝缘靶）溅射，缺点是溅射速率慢，溅射功率高，靶材容易破裂。
   化学气象沉积，用活泼金属靶（al），在溅射过程中充入适量。

问：磁控溅射镀膜技术的优点详解？？？请高手指导！！

1. 答：在磁控溅射镀膜技术中，溅出的原子是与具有数千电子伏的高能离子交换能量后飞溅出来的，其能量较高，往往比蒸发原子高出1～2个数量级，因而用溅射法形成的薄膜与衬底的粘附性较蒸发为佳。若在溅射时衬底加适当的偏压，可以兼顾衬底的清洁处理，这对生成薄膜的台阶覆盖也有好处。另外，用溅射法可以制备不能用蒸发工艺制备的高熔点、低蒸气压物质膜，便于制备化合物或合金的薄膜。